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自动换线装置(AWC)可在加工过程中自动改变线径,从而可进行复杂加工又使工艺过程保持盈利。
使用该系列的 X 版本,整体定位精确度可达到 ±1.5 µm,这要归功于它的特殊激光校准方法。
测量精度 :使用 158 倍率放大透镜时精度为 ± 1.0 μm。 使用 56 倍率放大透镜时精度为 ± 1.5 μm。
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